Оборудование для проведения научно‑исследовательских работ на базе НИТУ МИСИС
Оборудование для проведения научно-исследовательских работ на базе НИТУ МИСИС
3D оптический профилометр Profilm3D
3D оптический профилометр Profilm3D
3D оптический профилометр Profilm3D
3D оптический профилометр Profilm3D
3D оптический профилометр Profilm3D

3D оптический профилометр Profilm3D

Фирма-производитель
Filmetrics Inc. (KLA Company)
Страна-производитель
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Тип (модель) оборудования
Profilm3D 205-0897
Классификация вида измерений/испытаний
Определение механических величин
Назначение
Оборудование для оптических измерений и исследований (кроме микроскопов и телескопов)
Вид оборудования
Средство измерений
Календарь бронирования оборудования

Технические характеристики

Диапазон Толщин, WLI 50 нм - 10 мм
Диапазон Толщин, PSI 0 - 3 μм
RMS Повторяемость, WLI 1,0 нм
RMS Повторяемость, PSI 0,1 нм
Точность измерения ступеньки 0,7 %
Прецезионность измерения ступеньки 0,1 %
Стабильность 0,15 %

Область применения

Оптический профилометр Profilm3D может выполнять широкий спектр измерений и приложений:
- поверхностная характеристика и планаризация полупроводниковых элементов, что позволит улучшить их характеристики и уменьшить процент выпускаемого брака;
- измерение высоты, компланарности и степени шероховатости полупроводниковых элементов, устанавливаемых по технологии Flip Chip;
- анализ дефектов (царапины, сколы, трещины и т.д.), измерение параметров шероховатости, высоты/глубины структуры, высоты ступеньки, характеризация текстуры и многое другое для элементов устройств хранения данных: жестких дисков, оптических и магнитных носителей информации;
- MEMS и элементы оптоэлектроники (кривизна микролинз, анализ линий, окружностей, углов измерение ширины и расстояния);
- автоматическая оценка глубины травления;
- оценка параметров материалов.

Типовые услуги

- измерение глубины кратеров травления,
- прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности кристаллов,
- исследование текстуры поверхности

Методики измерений/испытаний

Методика определения глубины травления и шероховатости поверхности кристаллов и тонких пленок

Забронировать оборудование

Даты бронирования оборудования
Заполните обязательные поля
Прикрепить файлы
Вес одного файла не более 40 мб
Добавить файлы

Согласие на обработку персональных данных субъектов при оформлении заявки на бронирование оборудования в НИТУ МИСИС

Наименование и адрес Оператора, получающего согласие субъекта персональных данных: НИТУ МИСИС, г. Москва, Ленинский проспект, д. 4, стр. 1.


Оставляя свои персональные данные на сайте НИТУ МИСИС (https://misis.ru) и других информационных систем НИТУ МИСИС (далее – ИС) путём заполнения заявки на бронирование оборудования НИТУ МИСИС (полей онлайн-заявки, регистрации или запроса на обратную связь), субъект персональных данных:

  1. подтверждает, что указанные им персональные данные принадлежат лично ему;
  2. признает и подтверждает, что он внимательно и в полном объеме ознакомился с настоящим согласием и содержащимися в нем условиями обработки его персональных данных, указываемых им;
  3. признает и подтверждает, что все положения настоящего согласия и условия обработки его персональных данных ему понятны;
  4. дает согласие на обработку в ИС предоставляемых персональных данных в целях регистрации заявки, оповещения субъекта персональных данных о принятии заявки в работу на указанный в заявке адрес электронной почты и т.д.;
  5. выражает согласие с условиями обработки персональных данных без каких-либо оговорок и ограничений.


Субъект персональных данных даёт своё согласие на обработку его персональных данных, а именно на совершение действий, предусмотренных п. 3 ч. 1 ст. 3 Федерального закона от 27.07.2006 № 152-ФЗ «О персональных данных», и подтверждает, что, давая такое согласие, он действует свободно, по своей воле и в своих интересах.
Цели обработки персональных данных:

  1. идентификация субъекта персональных данных в рамках ИС;
  2. предоставление субъекту персональных данных возможностей ознакомления с парком оборудования НИТУ МИСИС и оформления заявок на его бронирование в ИС;
  3. связь с субъектом персональных данных, в том числе направление уведомлений, запросов и информации, касающихся использования ИС, а также обработка заявок на бронирование оборудования НИТУ МИСИС;
  4. улучшение качества ИС, удобства использования ИС, разработки новых функций ИС;
  5. проведение статистических и иных исследований на основе обезличенных данных.


Перечень персональных данных, на обработку которых даётся согласие субъекта персональных данных:

  1. фамилия, имя, отчество;
  2. адрес электронной почты;
  3. номер контактного телефона.


Срок действия настоящего Согласия – со дня его подписания до достижения целей обработки персональных данных. На основании письменного обращения субъекта персональных данных через сервисы (эл. почта) ИС с требованием о прекращении обработки его персональных данных Оператор прекратит обработку таких персональных данных в срок, не превышающий 30 (тридцати) рабочих дней.


© НИТУ МИСИС

Заявка на бронирование оборудования «» успешно отправлена

На Вашу почту было отправленно письмо с информацией по заявке

Что-то пошло не так, перезагрузите страницу и попробуйте снова

К Витрине оборудования